Methods for generating a standard reference die for use in a die to standard reference die inpection and methods for inspecting a wafer

다이 대 표준 기준 다이 검사에서의 이용을 위한 표준 기준 다이를 생성하기 위한 방법들 및 웨이퍼를 검사하기 위한 방법들

Abstract

다이 대 표준 기준 다이 검사에서의 이용을 위한 표준 기준 다이를 생성하기 위한 방법들 및 웨이퍼를 검사하기 위한 방법들이 제공된다. 다이 대 표준 기준 다이 검사에서의 이용을 위한 표준 기준 다이를 생성하기 위한 하나의 컴퓨터-구현 방법은 웨이퍼 상에 중앙에 위치한 다이 및 상기 웨이퍼 상에 위치한 하나 이상의 다이들에 대한 검사 시스템의 출력을 획득하는 단계를 포함한다. 상기 방법은 또한 상기 출력의 내부 다이 위치들에 기초하여 상기 중앙에 위치한 다이 및 상기 하나 이상의 다이들에 대한 상기 출력을 결합하는 단계를 포함한다. 추가로, 상기 방법은 상기 결합 단계의 결과들에 기초하여 상기 표준 기준 다이를 생성하는 단계를 포함한다.

Claims

Description

Topics

Download Full PDF Version (Non-Commercial Use)

Patent Citations (0)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle

NO-Patent Citations (0)

    Title

Cited By (0)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle