반-정지마찰 코팅의 적용을 위한 방법 및 장치

Method and apparatus for application of anti-stiction coating

Abstract

본 개시는 전기 기계 시스템들(EMS) 패키지들을 제조하기 위한 장치, 시스템들 및 방법들을 제공한다. 일 방법은 배기 가능한 반-정지마찰 코팅을 포함하는 EMS 패키지를 제조하는 것을 포함한다. 반-정지마찰 코팅은 건조제 혼합물의 부분 내에 포함되는 솔벤트일 수 있다. 몇몇 구현들에서, 이 방법은 패키지내로 EMS 디바이스를 밀봉하고 이어서 잔여 솔벤트의 적어도 부분을 배기하는 온도 프로파일을 이용하여 패키지를 가열하는 것을 포함한다. 이 방법은 EMS 패키지 내의 디스플레이 엘리먼트들에 반-정지마찰 물질들을 분배하기 위한 인큐베이션 베이크 사이클을 포함한다. 인큐베이션 베이크 사이클은 또한 그의 효과들을 감소시키도록 EMS 패키지 내에서 오염물들을 보다 균일하게 분배할 수 있다.

Claims

Description

Topics

Download Full PDF Version (Non-Commercial Use)

Patent Citations (0)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle

NO-Patent Citations (0)

    Title

Cited By (1)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    DE-102014117907-A1January 07, 2016Hyundai Motor CompanyElektronische halbaktive Halterung vom indirekten Bypass-Typ; elektronische halbaktive Halterungsvorrichtung und Verfahren zum Steuern einer Dynamikcharakteristik-Änderungsrate davon