Chemoresistor type gas sensor having a multi-storey architecture

다층 구조를 갖는 화학저항 유형 가스 센서

Abstract

다층 가스 센서는 화학저항 유형 가스 센싱 소자들(CH1, CH2)을 적층하고 각각의 센싱 소자를 통해 구멍들을 제공하여 구성되어, 가스는 센싱층들(52)을 통해 하나의 센싱 소자로부터 다음 센싱 소자로 통과할 수 있다. 상이한 센싱층들에 대한 재료들의 적절한 조합들을 선택함으로써, 그리고 센싱층들의 상이한 조합이 활성화될 때의 시간들, 소정의 센싱층들이 상이한 온도들로 또는 상이한 가열 프로파일들에 따라 가열될 때의 시간들, 및/또는 선택된 센싱층들이 UV 광에 노출될 때의 시간들에서 측정들을 행하여, 상이한 가스 센싱 소자들의 동작 조건들을 변동시킴으로써, 풍부한 데이터 세트가 얻어질 수 있다. 센서 감도 및 선택성은 제어된 지속기간의 UV 펄스들을 적용함으로써 증가될 수 있고, 타겟 가스 종은 UV 조사의 시작 시에 센싱층의 과도 응답에 기초하여 검출될 수 있다. 각각의 센싱 소자(CH1, CH2)는 마이크로-핫플레이트 구조를 가질 수 있다.

Claims

Description

Topics

Download Full PDF Version (Non-Commercial Use)

Patent Citations (0)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle

NO-Patent Citations (0)

    Title

Cited By (3)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    KR-101519971-B1May 15, 2015연세대학교 산학협력단가스 센서 및 이의 제조 방법
    KR-101698680-B1January 23, 2017울산과학기술원High selective and high seneitive gas sensor device
    US-9781838-B2October 03, 2017Industry-Academic Cooperation Foundation, Yonsei UniversityGas sensor and method of manufacturing the same